说白了膜层薄厚就是指基材上的金属材料或非金属材料覆盖的薄厚,比如PCB板加工工艺中的Cu/Ni/Au层,铝合金上的Ni/Cr覆盖,塑件上的陶瓷膜层,金属材料上的漆料镀层这些。
检验市场中多见的几类膜厚测试标准如下所示:
1、金相测膜薄厚
• 机器设备:金相显微镜
此方案适用精确测量薄厚>1μm的陶瓷膜层,可与此同时精确测量双层;
被测试品必须经垂直平分待测膜层抽样开展金相制样,再在金相显微镜下观查并照相精确测量待测膜层薄厚。
2、SEM测膜薄厚
• 机器设备:为扫描仪透射电镜(SEM)
此方式检测范畴宽,适用精确测量薄厚0.01μm~1mm的金属材料或者非陶瓷膜层;
试品前解决与金相测厚同样,装有能谱仪配件(EDS)的SEM机器设备可以明确每一层膜层的成份。
3、莹光测薄厚
• 机器设备:XRF涂层测厚仪
此方案适用精确测量薄厚>0.01μm的陶瓷膜层,可与此同时精确测量双层;
精确测量前需了解试品的表层的镀膜加工工艺信息内容(如板材原材料、膜层原材料及顺序);
可以完成无损检测技术(视试品)。
4、XPS深层分析
• 机器设备:X射线光电子能谱仪(XPS)
此方案适用精确测量纳米薄厚的膜层。
XPS机器设备可以检测试品极表层的原素成份(每一次精确测量的信息内容深层为5nm上下),而且可以在试品房间内立即对试品表层开展磁控溅射,可以除去特定薄厚(纳米)的表面成分,这两个作用融合应用就可以精确测量出纳米膜层的薄厚;
比如,试品最表层成份为铑原素,逐渐磁控溅射掉表层50nm后发觉成份中逐渐发生很多的铂元素,那麼可以分辨检测部位铑膜的薄厚约为50nm。
5、阶梯测厚方式
• 机器设备:台阶仪
此办法对薄厚的检测范围较宽,0.1μm到10μm均能检验;
但对试品的标准很高,膜层与板材中间务必有阶梯,且表层光洁。
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