聚对二甲苯可以涂覆哪些类型的材料？

在纳米防水网，大家时常会碰到一个问题：“我的xxx可以被聚对二甲苯镀层吗？” 可以用聚对二甲苯涂敷的板材表层总数许多。在下表格中列举了应用聚对二甲苯保形建筑涂料的很多工业生产运用。这种实例可以拓展。

表：应用聚对二甲苯保形镀层的机器设备实例。

板材表层/聚对二甲苯相互影响/板材表层提前准备，页面洁净度，表面：根据Parylene CVD堆积，可以在几乎全部类别的原材料上得到无内应力和无缺点的保形镀层。这类镀层的一些事例在图内示出。

（a）在汽车制造业中采用的感应器很有可能非常容易遭受高溫，氮氧化合物，体内湿气的危害。这类自然环境会致使感应器的铝质触碰垫迅速浸蚀。在这种垫上应用聚对二甲苯可以维护他们，而且很常见[1]。

（b）聚对二甲苯还能够作为MEMS元器件的掩膜原材料，因为它具备添充间隙的工作能力，在底割下添充的图象中，它可以做为间距物以生产制造100 nm宽的纳米线（插画图片）。在该科学研究中，它与高聚物抗蚀剂，硅，碳碳复合材料和铂产生页面[2]。在图（c和d）中，大家见到可以应用聚对二甲苯替代环保包装，进而减少了包裝的规格和净重。除此之外，聚对二甲苯可以与别的层析（如SiO2）结合在一起产生双层镀层如下图2所显示。运用和概率的多元性使聚对二甲苯变成具有诱惑力的保形建筑涂料。

可是，在逐渐堆积全过程以前，必须实行一些流程。为了避免分层次，针眼，缝隙，皱褶，小水泡和其他类型的塑料薄膜缺点，不一样种类的外表必须不一样的表层处理。大家探讨下列一些普遍种类做为关键点：

聚对二甲苯/原材料系统软件实例：

• PCB：聚对二甲苯最多见的主要用途是PCB，做为网络部件，点焊和电缆线的防护镀层。它产生了一层防护层，以避免机械设备冲击性和腐蚀原素的蔓延[11]。

• 硅晶圆：圆晶引线键合内层[12]，做为硅有机化学蚀刻加工的掩膜[13]，

• 瓷器/夹层玻璃：A-174氯硅烷饱和溶液预备处理可以改进Parylene-C塑料薄膜在平板电脑玻璃基板试品上的粘合力[14]。

• 金属材料/铝合金：聚对二甲苯普遍用以涂敷感应器垫。（图（a）表明了一个塑胶封装形式的硅液位传感器[1]）。聚对二甲苯自身与贵重金属（如金有铂）的粘接性较弱。为了更好地推动他们的黏合，可以应用市面上的黏合硫化促进剂，据报道，在这类页面上黏合抗压强度提升了100倍，并观查到了相对应的耐体内湿气脱离性提升[15]。

• 聚对二甲苯–金属材料–聚对二甲苯隔层构造可做为软性电级，传感器生产，通常做为相溶性假体生产制造[16] – [18]。

• 聚对二甲苯-聚对二甲苯的堆积是很有可能的，但必须开展后处理工艺才可以根据热处理工艺产生有机化学平稳的页面[16]，[19]。

• 高聚物：光致抗蚀剂上的聚对二甲苯C可以经过改进抗蚀剂的黏附力来完成，聚对二甲苯可以引进改善的氯硅烷化预备处理，包含热处理工艺以从抗蚀剂表层除去甲基。[2]

• 在油上：当油的蒸气放低（<5 Pa）时，可以在顶端堆积聚对二甲苯[3]。涂在油上的聚对二甲苯内应力不大，可以忽略[4]。聚对二甲苯上油堆积法（CVD）已用以制取长期性可嵌入的液位传感器[5]，从油中获取光学镜片[6] – [8]并根据在堆积后分离出来聚对二甲苯来制取防护的聚对二甲苯膜[9]，[10]。

  
  

参考文献

[1] M. Kraft和NM White，《汽车和航空航天应用的备忘录》。Elsevier，2013年。

[2] Y. Li 等。，“聚对二甲苯光致抗蚀剂（POP）：用以高聚物/金属材料纳米线生产制造的超低温垫圈计划方案”，《微机械微工程》，第1卷。21号 6，第 067001，2011年4月，doi：10.1088 / 0960-1317 / 21/6/067001。

[3] A. Homsy 等。，“固体堆积，技术性解决方法的具体描述”，Microelectron。。，卷 141，第267-279页，2015年6月，doi：10.1016 / j.mee.2015.03.068。

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[5] AM Shapero，Y。Liu和Y.-C。Tai，“用以长期性植入式液位传感器的聚对二甲苯上油包裝”，Biomed。小型卷。18号 4，第 66，2016年7月，doi：10.1007 / s10544-016-0089-4。

[6] Binh-Khiem Nguyen，Eiji Iwase，Kioshi Matsumoto和Isao Shimoyama，“根据将聚对二甲苯立即堆积在液态上而制作的电推动调焦电子光学微镜片”，在2007年IEEE第20届国际性电子光学机械结构（MEMS）大会上， 2007，第305–308页，doi：10.1109 / MEMSYS.2007.4433059。

[7] T. Kan，H。Aoki，N。Binh-Khiem，K。Matsumoto和I. Shimoyama，“应用二种荧光染料融解在由聚对二甲苯膜封装形式的离子液体中的比例电子光学温度感应器”，感应器，第1期。13号 4，第4138–4145页，2013年4月，doi：10.3390 / s130404138。

[8] WF Gorham，“一种制取线形聚对二甲苯的新式通用性生成方式”，J。Polym。科学合理 [A1]，第一卷。4，沒有 12，pp。3027-3039，1966，doi：10.1002 / pol.1966.150041209。

[9] H. Keppner和M. Benkhaira，“生产制造塑料薄膜设备的方式 和从而得到的设备”，US20090246546A1，2009年10月1日。

[10] N. Binh-Khiem，K。Matsumoto和I. Shimoyama，“多孔结构聚对二甲苯和液态对堆积在液态上的聚对二甲苯塑料薄膜的危害”，在2011年IEEE第24届微机电系统国际学术会议上，第pp 。111–114，doi：10.1109 / MEMSYS.2011.5734374。

[11] A. Hogg，“用以植入式医疗器械的超层析包裝的研发和特点”，第134页。219。

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[13]卢希文，郭文成，杨耀乔和泰玉崇，“重结晶聚对二甲苯作为硅有机化学蚀刻加工的掩膜”，在2008年第三届IEEE纳米技术/微工程项目和分子结构系统软件国际学术会议上，2008年1月，第881–884页，doi：10.1109 / NEMS.2008.4484464。

[14]“聚对二甲苯-C塑料薄膜的黏合特性| Scientific.Net。” https://www.scientific.net/AMM.421.337(2020年4月26日浏览）。

[15]“塑料薄膜聚对二甲苯系统软件在湿区自然环境中的黏合特点和改性材料-IEEE Journals＆Magazine”，浏览：2020年4月26日。[线上]。可以用：https：//ieeexplore.ieee.org/abstract/document/8418313。

[16] RP von Metzen和T. Stieglitz，“淬火对聚对二甲苯C的机械设备，有机化学和化学性质及其构造可靠性的危害”，Biomed。小型卷。15号 5，第727–735页，2013年10月，doi：10.1007 / s10544-013-9758-8。

[17] W. Li，DC Rodger，E。Meng，JD Weiland，MS Humayun和Y.-C。Tai，“用以视网膜鼻子假体的软性聚对二甲苯包裝的眼球电磁线圈”，在2006年国际医疗和分子生物学微技术大会上，2006年5月，第105-108页，doi：10.1109 / MMB.2006.251502。

[18] S. Minnikanti 等。，“应用加快高低温试验和光电催化表现对用以神经系统页面的分子层堆积的Al2O3-Parylene C两层镀层开展终生评定，” Acta Biomater。，卷 10号 2，第960-967页，2014年2月，doi：10.1016 / j.actbio.2013.10.031。

[19] J. Ortigoza-Diaz 等。，“ Parylene C微机电系统细微生产加工中的工艺和常见问题”，《微机械》，第一卷。9号 2018年8月9日，doi：10.3390 / mi9090422。

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