耐高温抗紫外薄膜

20新世纪60时代，英国结合ni元素企业发布了Parylene系列产品高分子材料敷型镀层原材料，因为出色的隔绝特性，Parylene原材料在防水、除霉、防耐腐蚀的三防镀层行业获得了普遍的运用。依据分子式的不一样，Parylene原材料分成Parylene N、C、D、HT和F几类种类。文中将对系列产品中具备耐热和抗紫外光特性的Parylene F开展关键详细介绍。

Parylene F的结构类型

        在Parylene家族中，Parylene N、C和D均为氯代的高聚物，氟代Parylene是该系列产品高聚物的新一代化合物，包含苯环替代——Parylene F和甲基替代——Parylene HT两大类。伴随着大家对防水涂料规定的提升，传统式的Parylene N、C、D在耐热、抗紫外光层面早已远远地达到不到销售市场的规定，而氟原子的加入可以比较好地改进塑料薄膜的电力学特性、耐热性和抗紫外光特性。派瑞林HT因为其生产工艺流程的限定，制取高效率很低，而Parylene F则相对而言更具备价值，因而，愈来愈遭受大家的关心。

Parylene F的增稠基本原理

        与其他Parylene原材料相近，Parylene F塑料薄膜的制取需要在专用型的真空泵涂敷机器设备上开展，机器设备首要由提升炉、裂解炉、堆积腔室、冷阱和超滤装置几部份构成。涂膜全过程也包含以下3个流程：

(1)固态环二体在一定溫度下提升为汽态环二体；
(2)在较高溫度下汽态环二体裂化为活力单个氧自由基；
(3)单个氧自由基进到堆积腔室后，在基材表层堆积汇聚产生匀称无针眼并与物件样子一致的Parylene F塑料薄膜。

Parylene F塑料薄膜的制取加工工艺

        赵宗峰等[1]选用PDS2010镀层炉，以石英石玻璃为基材，根据真空泵化学气相沉积方式制取了Parylene F塑料薄膜。在制作全过程中，基材溫度、基材表层情况、提升溫度、裂化溫度、堆积室工作压力等原因对膜特性和品质都是有一定危害：堆积室本底辐射工作压力高残渣汽体成分高，氧自由基非常容易丧失活力，产生挎包高聚物的沉积；提升溫度过过高提升汽体进到堆积腔室的压差，促使塑料薄膜堆积速度过快涂膜品质差；裂化溫度也会危害塑料薄膜品质，过过高导致环二体原材料的过裂化，过低则会造成环二体裂化不彻底。

        最后根据试验得到，最大提升溫度为170℃，裂化溫度为690℃，堆积腔室本底辐射真空泵10mT，堆积工作压力为32mT。所得的Parylene F镀层持续、匀称、高密度，具备高的体积电阻率和低的相对介电常数且耐热性好，可以做为各种各样繁杂样子电子元器件的防护膜应用。并且真空泵化学气相沉积全过程不必应用有机溶剂，不容易造成较大的空气污染。

        Parylene F在耐热、抗紫外光等领域具备很强的优点，非常好地填补了传统式Parylene原材料的缺点。除此之外，Parylene F也具备传统式Parylene原材料的防潮和绝缘等优质特性，可以运用到医疗设备、车辆、电机电源开关、智能穿戴设备及其具备高效益的LED上，是一种应用前景十分普遍的原材料。

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