克服针孔问题！超薄聚对二甲苯用作纳米级器件的栅极绝缘体

图为一种具备聚对二甲苯栅压绝缘物的顶尖半导体材料纳米线晶体三极管的五颜六色SEM图象。纳米线表明为深蓝色，聚对二甲苯层表明为翠绿色，金属电极表明为淡黄色。

来源于澳大利亚国立高校和隆德大学的一个科学研究工作组初次展现了有机化学高聚物聚对二甲苯做为纤薄光刻技术图案化栅压绝缘物用以纳米晶体三极管。在纳米技术尺寸上，运用规范光刻技术堆积塑料薄膜和光刻技术图案化工作能力可以为其在纳米元器件和纳米技术生物体电子器件主要用途中开拓更广泛的路面。

虽然纤薄聚对二甲苯因为针眼问题而被觉得是不适宜的，但这些科学研究，正如同纳米技术周刊中Gluschke等人所报导的，纳米技术限度元器件的细微页面地区可以摆脱这种问题。聚对二甲苯具备相溶性，并得到FDA准许用以身体嵌入机器设备，已被作为金属氧化物的代用品，以处理有机化学半导体元器件中的相近问题。它在诊疗假体覆盖也是常用的，而且做为用以印刷线路板和别的工业生产电子产品的生态环境保护镀层，虽然通常在很大的元器件构造中具备更厚的膜。

科学研究工作人员应用一种特殊的聚对二甲苯堆积系统软件将20nm厚的保形镀层喷涂在50nm直徑的纳米线上，这类纳米线被作为场效应晶体管的传输安全通道。生产制造这类设备的高效率在于聚对二甲苯立即从气相色谱堆积的工作能力以及高抗溶剂性。结果显示，在没有毁坏表层化学特性的情形下，可以在有机化学加工处理的半导体材料表层上对聚对二甲苯堆积开展解决，而耐水洗性代表着聚对二甲苯合适于根据抗蚀剂的光刻技术。

其主要特点是一个中小型堆积室，运用石英谐振器略微量天秤座对堆积开展原点检测，并能防护和抽时间堆积室，以快速停止堆积全过程。这促使元器件的生产制造像图内所显示的顶栅晶体三极管一样简易，与此同时与文中探讨的栅压全晶体三极管一样繁杂。关键的是，原材料和生产加工工艺应当可以迁移到别的半导体器件上，例如石墨烯和一系列别的纳米元器件的设计方案。正如同精英团队管理者Adam Micolich告知Materials Today那般，“这儿的关键作用取决于，如今有一种十分行得通的非金属氧化物有机化学绝缘物可以用以纳米元器件。”

该团体对纳米线包囊的科学研究起源于2012年，它早已进步成具备好几个包囊并根据正离子方式包囊系统结构，而且她们再次科学研究在别的构造和原材料中应用纤薄聚对二甲苯。

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