PACVD 正离子提高化学气相沉积是在相对高度真空,溫度小于 200 ℃的情形下,堆积极其光洁,黏着特性好的不定形金钢石硬质合金刀具镀层。相对性 PVD 加工工艺, PaCVD 加工工艺运用深镀开关电源,不用负极靶材,与此同时产品工件在炉内中不用转动,该加工工艺为整洁零污染,靠谱,和多特性的镀层加工工艺。 PACVD 又叫 PECVD 。
生产加工溫度
PACVD 镀层的生产加工溫度在 200 ℃下列,大部分原材料都能被用于镀层。
典型性的镀层零件
PACVD 可用以绝大部分基材原材料,氧化还原电位原材料和绝缘层材料,典型性运用包含汽车发动机货品机械零件、泵零件、诊疗元器件和装饰设计件。
典型性的镀层种类
爱恩邦德 PACVD 全过程堆积很多的 ADLC 镀层。这一设计方案应用于尤其的主要用途,包含高细腻主要用途,低内应力主要用途和陶瓷器主要用途。
镀层极高韧性( 10 — 40Gpa ),在构造机构上不定形并带有约 70% 的 SP3 bondings。
镀层薄厚为 2~3 μm,典型性的技术時间大概 3.5 钟头。
技术性全过程引风
• 合适多种多样原材料
• 减少加工工艺時间,发展生产制造听从
• 低加工工艺溫度,规格形变小
• 镀层薄厚匀称,不管对几何图形外观设计简易依旧繁杂的零件
• 加工工艺对自然环境零污染
• 可对里孔开展镀层
PACVD 生产过程
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